真空泵原理：
真空泵是一种用于生成高真空的设备。其工作原理是利用机械、物理或化学方法将气体分子从封闭的容器中排出，从而降低容器内的气体压力。主要的真空泵原理有以下几种：
1. 机械泵：利用机械方式将气体分子从容器中抽出，常见的有旋片泵、罗茨泵等。
2. 漏斗泵：利用气体分子在漏斗形容器壁上反复碰撞，从而将气体抽出，常见的有扩散泵、离子泵等。
3. 分子泵：利用高速旋转的转子和静电场将气体分子加速排出容器，常见的有离心泵、螺旋泵等。
真空泵故障分析：
1. 泵油不足：导致真空泵不能正常工作，需要及时添加泵油。
2. 泵油污染：导致泵油流动性变差，影响真空泵的工作正常，需要更换泵油。
3. 泵内漏气：导致真空泵无法实现高真空状态，需要重新密封泵体。
4. 泵内结构损坏：导致真空泵无法产生足够的真空，需要更换损坏的部件。
5. 泵体过热：导致真空泵不能正常工作，需要检查散热系统是否正常。
