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haadf成像原理

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  • 扫描透射(STEM)成像原理与TEM的平行电子束聚焦成像机制不同,其基本原理如下:通过一系列电磁线圈将电子光源发射的电子会聚成极细的电子束并聚焦在样品表面,然后通过扫描控制线圈使得束斑对样品逐点扫描,穿过样品的散射电子被下部的环形探测器同步接收,经转换后显示在信号接收器上,而信号接收器所产生的像点与样品上的扫描位置一一对应。透射电子束与样品发生相互作用时,产生弹性散射与非弹性散射电子,由于入射电子的方向和能量发生改变,因此在样品下部的不同位置放置相应的探测器,将会接收到携带不同样品信息的电子。

    2023-10-23 23:42:55
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