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psg工程原理

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  • PSG(PhosphoSilicateGlass)是磷硅玻璃的意思,在太阳能电池片的扩散工艺后,硅片表面会形成一层PSG,必须去除。

    扩散原理:POCl3在高温600℃下分解,产生P2O5和PCl5,然后2P2O5+5Si——5SiO2+4P,这样生成的P就可以扩散到硅片里,实现P掺杂。

    在扩散中,我们还比通入足够的氧气,这样PCl5和氧气反应,生成P2O5和Cl2,从而避免产生的PCl5对硅片的不利影响。

    通过反应可以发现,在实现P掺杂的同时,在硅片表面还会有二氧化硅和五氧化二磷,所谓的PSG,通过氢氟酸溶液洗去。

    2023-10-24 13:49:44
  • PSG系列气固喷射器,以离心风机(空压机、罗茨风机)为动力气源。

    运用气固两相流原理,以流态化技术,射流技术和压差原理相结合。

    以电动旋转供料器为供料装置,将物料送入料气混合室,物料在料气混合室流态化的同时,利用双环状喷嘴产生的高速气流将物料送入加速室,以悬浮流进入输送管道,利用气力压差将物料沿管道送入受料仓内。

    然后料气分离,经布袋除尘器过滤后将气体排入大气。

    2023-10-24 13:49:44
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