所有栏目

为什么面精度可以用波长表示

已输入 0 字
优质回答
  • 面型精度采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征。因为使用可以测量波面的干涉仪来测量,所以也称为反射面精度。面型精度的干涉条纹数的单位是[λ ]。λ是干涉仪所用的氦氖激光器的波长632.8nm。表征面型精度有两个参数:PV和RMS值。PV值是 Peak to Valley (峰值与谷值的差值 ),RMS值是 Root Mean Square ( 均方根值 ),根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为像平面这类的简单形状,大多使用PV值来表示。例如:面型精度的PV值是1/4λ时,表示理想平面的最大偏差值是158.2nm

    2023-10-23 13:39:42
最新问题 全部问题