螺杆式真空泵使用过程和注意事项

螺杆真空泵是20世纪90年代初出现的一种理想的泵种，由于具有抽速范围宽、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放，以及运行成本低等一系列优点，在半导体、光伏、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到了广泛应用。

目前，各种真空泵的发展越来越受到真空应用场合的影响，一般传统的真空泵系统已经无法满足清洁无油、耐腐蚀、抽可凝性蒸汽，以及能在恶劣工况下运行的需要，因此，近几年来，干式真空泵发展很快，真空获得产品出现了更新换代的局面。

干式螺杆真空泵的工作原理

螺杆真空泵的工作原理：由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆，在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间，有一定的间隙，没有任何金属与金属之间的接触。于是，螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入，并排出到排气口。

早期的螺杆真空泵是等螺距，为了降低能耗、降低泵腔内的温度，后来又开发了变螺距的螺杆真空泵。其中一种螺杆是由二段螺距大小不等的螺杆拼接而成，另一种就是螺距连续变化的螺杆真空泵，螺杆由一个整体材料加工制作而成。各种不同的螺杆见图1所示。

干式螺杆真空泵的特点如下：

由于采用变螺距结构，比等螺距螺杆可节省30%的能耗，排气温度较低；

被抽气体在泵腔内路程短，并迅速排出；

被抽气体在泵腔内很少受到搅动；

微小颗粒不容易堆积；

可以夹带液体、可凝物和微小颗粒；

低振动和低噪声；

泵腔内的剩余物容易被清除。

干式螺杆真空泵的使用注意事项

下表1是7种不同规格型号的变螺距螺杆真空泵的技术参数。

干式螺杆真空泵的使用注意事项如下：

1螺杆真空泵背压

螺杆真空泵通常的排气压力室大气压，在配用电机功率不变的情况下，最大允许背压到0.3bar。如果螺杆真空泵在高背压下运行，会造成抽速下降、极限真空变差、排气温度过高等问题。

2进气温度

螺杆真空泵进气温度15℃~60℃，在此温度范围内，泵可连续长期工作。进气温度超出此范围，需采取必要措施。

3冷却水温度

下面的表1给出的冷却水是在冷却水温度为20℃下的流量，冷却水最高的允许温度为32℃，但必须适当加大冷却水流量。

4处理液体和固体的能力

螺杆真空泵的被抽气体可以夹带一定量的液体和微小颗粒。

1、启动前一般应全开入口阀、出口阀，打开出口阀后，应尽快将普诺克螺杆真空泵启动。严禁在没有打开出口阀的情况下开泵(如果出口阀关闭，必须保证出入口连通阀全开)。

2、如果工艺所需流盘小，可稍开或不开出口阀，同时全开进出I口的连通阀，然后启动机泵正常后，根据工艺需要，缓慢开出口, 同时缓慢关小连通阀至正常工况。

3、严禁在没有灌泵的情况下长时间运转。

4、出现下列情况立即停泵：严重泄漏、异常振动、异味、火花、烟气、掩击、电流持续超高。

5、螺杆真空泵在运行过程屮，轴承温度不能超过环境温度35C,敁高温度不得超过 80C。

6、流量、压力平稳，电流不超过额定值。

7、密封泄漏不超过下列要求

a、机械密封：重质油不超过5滴/min,轻质油不超过10滴/min。

b、填料密封：重质油不超过10滴/min，轻质油不超过20滴/min。

（一）螺杆真空泵开机前的检查与准备

1、检查真空泵各个部件是否齐全；2在不同油位视镜处检查油位，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处；3检查确认真空机组各个阀门的状态；

（1）工艺入口阀关闭

（2）入口过滤器排污阀关闭

（3）出口管线畅通，出口管排污阀打开

（4）冷却水入口管线和出口管线阀门打开

（5）氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭

（二）螺杆真空泵的开机操作步骤

1、现场与中控联系，确认可以启动，通过现场操作柱启动按钮启动真空泵；2关闭出口管排污阀；3检查或调节氮封气流量，确认流量在2.5——3L/min；4打开吹扫阀，确认流量计流量调至最大，吹扫5——10分钟后，关闭吹扫阀；5打开工艺入口阀，切入系统；6真空泵运转过程中，注意观察机体温度，可通过温度调节阀调节水量来控制温度（温度调节阀位于0刻度时水量最大，位于5刻度时水量最小），要求温度尽量控制在50——75℃，确保不超过80℃。

（三）螺杆真空泵的停机操作步骤

1、关闭工艺入口阀，切出系统；2打开吹扫阀，吹扫20——40分钟后，关闭吹扫阀；3通过现场操作柱停止按钮停机；4关闭氮气阀门；5关闭冷却水阀门；如冬季长期不用，需排净机体及管线内的冷却水以防冻；6打开出口管排污阀和入口过滤器排污阀，检查是否有冷凝液。