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全部3个回答 >多晶硅精馏工艺流程
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多晶硅精馏是一种生产高纯硅的工艺，其主要流程如下：
1.多晶硅炉：将高纯度硅石经过多次冶炼后，在炉内融化成多晶硅。
2.硅棒制备：将多晶硅炉中的熔体通过拉伸、切割等方式，制成直径为200mm以上的硅棒。
3.硅棒清洗：硅棒表面覆盖有氧化层和其他杂质，需要进行化学清洗，去除表面氧化物和污染物。
4.硅棒抛光：将硅棒表面进行抛光，消除表面缺陷和划痕，提高表面光洁度。
5.硅棒切割：将抛光后的硅棒切成均匀的硅片，厚度约为0.2-0.3mm。
6.硅片清洗：将硅片进行化学清洗，去除表面氧化物和污染物。
7.硅片热处理：在高温气氛下对硅片进行热处理，消除内部应力和缺陷。
8.硅片精馏：将硅片放入精馏炉中，在高温下进行加热和精馏，去除硅片中的杂质，获得高纯度的硅片。
9.硅片切割：将精馏后的硅片切成小块，用于生产半导体器件。
以上是多晶硅精馏的主要流程，其中精馏是关键步骤，需要保证精馏过程的稳定性和精度，以获得高纯度的硅片。
2023-10-25 00:34:54
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