单晶炉设备常见故障及维修

（一）真空度抽不到指标

1.真空密封室密封不良 2.球阀处密封松动或损坏 3.真空泵有故障

1.对真空室进行分段检验确定漏气点，进行排除 2.调整球阀或更换密封圈 3.参阅真空泵说明书，针对性维修

（二）埚升不稳

1.丝杠、螺母有污物，润滑不良 2.电磁离合器工作不良 3.同步带松动或工作不良 4.给定电位器接触不良 5.测速电机有问题 6.电机抖动

1.清洗丝杠螺母，加注润滑油 2.调整电磁离合器间隙为：0.4～0.6mm 3.调整同步带，使其合理啮合 4.查电控柜电气部分 5.检查测速电刷头或更换电机 6.电控柜查放大倍数

（三）埚转不稳

1.坩埚轴有卡滞现象 2.多楔带松动 3.测速电机有问题 4.坩埚轴定位轴承工作不良 5.给定电位器接触不良 6.电机抖动

1.清除波纹管中的杂物 2.调整多楔带的张力 3.检查测速机刷头或更换电机 4.清洗润滑轴承或更换轴承 5.查电控柜电气电路部分 6.电控柜查放大倍数

（四）籽晶轴升降不稳有抖动现象

1.卷丝轮与牵引套连接松动 2.钢丝绳有毛刺或折痕 3.减速机润滑不良 4.电刷环接触不良 5.给定电位器接触不良 6.电机抖 7.计算机控速输出不稳

1.紧固连接件 2.更换软轴钢丝绳 3.清洗润滑 4.清洗、调整电刷环组件 5.查电控柜 6.电控柜查放大倍数 7.更换计算机，检修软件程序参数变动

(五)籽晶轴 转动不稳

1.测速电机有问题 2.多楔带松动 3.支撑轴承工作不良 4.给定电位器接触不良 5.电机抖动

1.检查测速机的电刷头或更换电机 2.调整多楔带的张力 3.清洗润滑轴承或更换轴承 4.查电控柜 5.电控柜查放大倍数

（六）飞车

1.电气部分大功率管穿通 2.组件少一组负电压 3.测速机的电压开路

1.更换大功率管，检查负电源及通路 2.检查电刷环

（七）偷转

1.放大器零点偏正 修正2.计算机控速有无输出 3.大功率管漏电电流太大，电气柜调整

（八）不转不升降

1.给定无输出 2.计算机有负信号（晶升） 3.滑环开路 4.电机与减速器联接锁紧螺钉松动

1.检查电控柜 ，电气控制部分2.检查电控柜，电气控制部分 3.检修电刷环组件 4.连接处锁紧螺钉拧紧、紧固

（九）计长显示不稳或不准

1.电刷环组件接触不良 2.电气故障

1.清理、调整电刷环组件 2.查电控柜，电气控制部分

（十）非故障报警 传感器误报警，检查传感器或者更换；

（十一）过流

1.加热器打火 2.氩气不纯拉弧 3.加热电极与炉体间的绝缘性差 4.高温加热后杂质挥发过多，拉晶过程中打火

1.清理炉内各处 2.换相应的绝缘件

（十二）等径过程中 出现扭曲现象

1.按重锤摆动故障中各条检查调整 2.主机水平偏差过大 3.液面温度偏低，拉速过快

1.按相关方法处理 2.调整主机水平 3.电气部分加大温较量

在维修的过程中，还要必须了解掌握的一些技术参数，是为了方便故障检查及更好的服务维修，所以这里也罗列了一些工艺技术参数，由于工艺进步，这里对有些技术参数只是提出了一个方向，需要大家针对现在的工艺技术去了解。

单晶炉设备的常见故障及维修如下：

1. 炉体温度不稳定：可能是炉体内部温度传感器损坏或者控制系统故障，需要更换或者修复。

2. 炉体压力异常：可能是炉体内部压力传感器损坏或者控制系统故障，需要更换或者修复。

3. 炉体加热不均匀：可能是加热元件损坏或者控制系统故障，需要更换或者修复。

4. 炉体内部结晶不良：可能是晶体生长条件不足或者晶体生长过程中出现异常，需要检查晶体生长条件和过程，进行调整。

5. 炉体内部气氛异常：可能是气氛控制系统故障或者气氛流动不畅，需要检查气氛控制系统和气氛流动情况。

6. 炉体内部真空度不足：可能是真空泵故障或者真空密封不良，需要检查真空泵和真空密封情况。

以上是单晶炉设备常见故障及维修方法，需要根据具体情况进行维修。建议在维修前先进行设备的安全检查，确保维修过程中不会出现安全事故。