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半导体外延设备是什么设备

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  • 外延(Epitaxy)制备技术是获得微纳米级高质量单晶半导体材料的重要手段;

    半导体外延设备是半导体薄膜工艺设备中最高端、最具技术含量的一类设备,目前国产设备大多只能满足实验室科研需求,而产业化应用需要采用进口设备,这类设备大多被美国、德国、日本等国家垄断,尖端设备对我国实行严格的封锁禁运;基于本项目领军技术人员的二十多年的技术积累,开发多源大尺寸分子束外延MBE设备,突破国外技术垄断和封锁。

    多源大尺寸分子束外延MBE设备,是半导体材料制备核心关键设备,国家重大战略急需(如第三代半导体),国外已对中国禁运。

    2023-10-25 05:38:55
  • 外延设备指的是连接到计算机、服务器或其他设备上的周边设备,如鼠标、键盘、打印机、扫描仪、摄像头、话筒、扬声器、显示器等,这些设备提供给计算机供人类交互和数据输入输出。

    外延设备的种类繁多,满足了人类对计算机辅助功能的不同需求,使得使用计算机和其他设备更加方便和舒适。

    2023-10-25 05:38:55
  • 1.

    单晶炉。设备功能:熔融半导体材料,拉单晶,为后续半导体器件制造,提供单晶体的半导体晶坯。

    2.

    气相外延炉。设备功能:为气相外延生长提供特定的工艺环境,实现在单晶上,生长与单晶晶相具有对应关系的薄层晶体,为单晶沉底实现功能化做基础准备。气相外延即化学气相沉积的一种特殊工艺,其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续,而且与衬底的晶向保持对应的关系。

    3.

    分子束外延系统。设备功能:分子束外延系统,提供在沉底表面按特定生长薄膜的工艺

    2023-10-25 05:38:55
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