厂房拆迁的法定流程有：申领房屋拆迁许可证，发布拆迁公告；书面通知拆迁范围内的被拆迁人，进行补偿登记；拟定补偿安置方案发布公告，根据群众意见修改相关方案；与被拆迁人签订拆迁补偿安置协议，落实拆迁补偿与安置方案。
法律依据:
《国有土地上房屋征收与补偿条例》第十条房屋征收部门拟定征收补偿方案，报市、县级人民政府。市、县级人民政府应当组织有关部门对征收补偿方案进行论证并予以公布，征求公众意见。征求意见期限不得少于30日。
《国有土地上房屋征收与补偿条例》第十五条房屋征收部门应当对房屋征收范围内房屋的权属、区位、用途、建筑面积等情况组织调查登记，被征收人应当予以配合。调查结果应当在房屋征收范围内向被征收人公布。
