代位原子指晶格中某些格点为别种原子所代替。
1.氧化物中无杂质时,也可能产生两种代位原子,
M代X记为
,X代M记为 如下图1所示。关于
和 对氧化物半导体导电性的贡献,一般认为,可能有如下规则: 是受主, 是施主,因为X 的外层电子比M 多,X 原子占据了M 格电位之后,有把多余电子激发到导带之趋势;相反,M 原子占据了X 格电位置后,有接受电子的倾向。
和 在离子性强的化合物半导体MX 中存在的几率是很小的,因为库仑电力的排斥作用很强,引入 和 要很大的能量,数量是非常少的,通常可以略去。2. 氧化物中有杂质时,和掺杂半导体相似。
