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深紫外光刻
作者：爱百科
2023-09-15 14:06:42
深紫外光刻，采用反射光照射的非成像方式，用椭圆反射镜把波长在180～260纳米的深紫外光通过平管透镜聚集成平行光照射在掩模版上，使掩模版的图像复印到基片上的光刻技术。可用作亚微米级精细图形的加工方法。
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