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蚀坑
作者：爱百科
2023-09-15 14:20:13
蚀坑，半导体硅材料表面的一种微缺陷。呈三角形。
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蚀坑
是硅抛光在-100度高温处理后，再用化学腐蚀在表面出现的高密度腐蚀坑，使光滑的表面变成雾状，因此得名。
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