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热探针法

作者:百科大全

热探针法可以用作硅片N型或者P型的检测。两个探针与编码形成欧姆接触,如热探针比冷探针高25-100℃。电压表跨接在两个探针之间测量电势差,极性的指示可判断材料是N或者P型。以上内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布

考虑图示的N型样品,多数载流子为电子。探针加热时,电子的热能比冷探针处的高,所以电子由于温度梯度会从热探针处扩散离开。若在热探针和冷探针之间连接导线,将会得到可测量的电流,其方向对应如图1所示

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