单晶炉工作原理

基本原理：多晶体硅料经加热熔化，待温度合适后。

经过骸籽晶浸入，熔接，引晶，放肩，转肩，等经，收尾等步骤，完成一根单晶锭的拉制。金属单晶，由于所有的真空系统都会存在漏气，所以如果空气对骇体的质量影响较大就要采用气氛保护。我生长单晶的时候用的是高纯Ar，生长时大概有十几个大气压吧。生长气氛主要还是根据你具体生长的材料和你设备可以保持的真空度而定，如果你的炉子保压不是很好，而且设计当中也可以承受一定的正压就建议使用正压生长。直拉单晶硅生产过程中的拆炉流程是在收尾完成后停炉6个小时左右的时间进行的，正常情况下是取出晶体，对炉内的挥发物进行清除，并用酒精擦洗。检查热场（石墨托碗、加热器、电极等）是否正常，并根据生产炉次对机械真空泵进行清洗换油。然后进入下一炉的生产流程：装料---抽真空----化料----拉制----停炉---拆炉。

直拉法单晶炉的工作原理是向单晶炉石英坩埚内加入一定量的多晶硅后加热石英坩埚到多晶硅熔融温度之上，熔融的多晶硅充满在石英坩埚中成硅熔体，之后慢速降低加热功率，对硅熔体降温后单晶炉籽晶通过提拉机构向下运动，籽晶杆前段的夹头夹持籽晶，从单晶炉上端向下浸入硅熔体内。

由于籽晶与硅熔体的固液界面附近的硅熔体维持一定过冷度，在一定温度下硅熔体沿籽晶周围按照籽晶晶向结晶。